第449章 新官的烦恼
王浩上任整机集成负责人的第四天，就遇到了第一个难题。凌晨两点，杭州指挥中心的光刻机模擬系统突然报警——光源系统与光学系统的接口参数出现偏差，模擬运行到第37分钟时，反射率从68.7%骤降到61.2%。
“王总，这是原始数据。”技术员小张把平板递过来，“光源系统那边说是光学系统的问题，光学系统那边说是光源的问题，两边都在推。”
王浩接过平板，快速瀏览数据。反射率下降的曲线很陡，不是渐进式的，是突然跳崖。这意味著不是系统老化或磨损，而是某个关键参数设置错误。
“李维在哪？”
“在光源系统实验室。”小张说，“他已经熬了三个通宵，今天下午晕过去一次，被人扶到休息室躺了两个小时，晚上又回来了。”
王浩沉默。李维的压力他懂。接任孙浩的位置，所有人都盯著他看。光源系统要是出问题，第一个被问责的就是他。
“走，去光源实验室。”
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凌晨两点半，光源实验室。
李维正趴在控制台上，手里拿著笔，对著屏幕上的曲线发呆。看到王浩进来，他揉了揉眼睛，强打起精神。
“王总，你怎么来了？”
王浩在他旁边坐下：“看看你。”
李维苦笑：“別看了，快废了。”
王浩没有接话，调出那组数据，在屏幕上放大。
“反射率下降前，光源系统这边有没有异常？”
“没有。”李维摇头，“所有参数都是按照孙叔修正后的公式设置的，跑了三十七分钟都很稳定。然后突然就掉了。”
“光学系统那边呢？”
“他们说自己的参数没问题，是光源输出不稳定导致的。”李维嘆气，“两边都在推，问题卡在这儿了。”
王浩盯著屏幕，没有说话。
过了很久，他突然问：“李维，你信孙叔那个公式吗？”
李维愣了一下：“当然信。孙叔算了一百遍，陈工验证过，样片也跑出来了。”
“那问题出在哪儿？”
李维摇头：“我不知道。”
王浩站起来，在实验室里慢慢走。他的目光扫过那些设备，那些线路，那些密密麻麻的仪表。突然，他在一台设备前停下。
“这是什么？”
李维走过来：“真空腔体的压力表。光源系统需要在超高真空环境下运行，这个表实时监测腔体压力。”
“刚才那三十七分钟，压力稳定吗？”
李维调出数据：“稳定，一直在10的负9次方帕左右。”
“那为什么反射率会掉？”
两人都沉默了。
王浩站在那台设备前，突然想起彼得森笔记里的一句话：
【euv光刻机最难的，不是单个系统的精度，是系统之间的配合。就像交响乐团，每个乐手都完美，但指挥错了，照样难听。】
“指挥错了……”王浩喃喃自语。
李维看著他：“什么？”
王浩猛地转身：“李维，你调出整机集成系统的控制时序图。”
李维愣了一秒，然后快速操作。屏幕上出现一张复杂的时序图，显示著光源系统、光学系统、工件台系统、掩模台系统之间的配合顺序和时间节点。
“你看这里。”王浩指著图上的一行数字，“光源系统启动后第0.3毫秒，光学系统开始接收光束。但这个时间节点，和孙叔公式里假设的0.5毫秒对不上。”
李维盯著那行数字，脸色变了。
“你是说……集成系统的时序错了？”
“不是错了，是假设条件不一样。”王浩快速说，“孙叔的公式假设光源系统和光学系统之间有0.5毫秒的缓衝时间。但实际运行时，这个缓衝时间只有0.3毫秒。少了0.2毫秒，光束还没稳定，光学系统就开始接收，反射率当然会掉。”
李维愣住，然后猛地拍了一下桌子。
“我靠！我怎么没想到！”
王浩已经拨通了陈锋徒弟小周的电话——他是负责集成系统时序设计的。
“周工，你在哪儿？”
电话那头传来迷糊的声音：“在家睡觉……怎么了王总？”
“集成系统的时序，那个0.3毫秒的缓衝时间是谁设定的？”
小周清醒了一点：“那个……是根据asml公开的专利数据反推的。我们当时觉得0.3毫秒已经够了，没想到孙叔的公式需要0.5毫秒……”
王浩深吸一口气。
“现在改，来得及吗？”
小周沉默了几秒：“可以改，但需要重新编译整个控制程序。至少需要三天。”
三天。光刻机样机下个月就要总装，三天就是极限。
“改。”王浩说，“我负责跟上面解释。你负责改好。”
掛断电话，他看向李维。
“李维，光源系统这边，能不能先按0.5毫秒的缓衝时间重新调试？”
李维点头：“能。但需要再跑一轮模擬，至少一天。”
“那就跑。”
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凌晨四点，王浩回到指挥中心。
李卫东居然还在。他坐在监控台前，手里端著一杯凉透的咖啡，看著屏幕上那些跳动的数据。
“爸？你怎么还没睡？”
李卫东没有回头：“睡不著，来看看。”他转过头，“你那边怎么样了？”
王浩在他旁边坐下，把刚才的事说了一遍。
李卫东听完，沉默了几秒。
“你怎么发现问题的？”
“彼得森的笔记。”王浩说，“他提到过系统配合的重要性。我就顺著这个思路，查了时序图。”
李卫东看著他，点了点头。
“干得不错。”
王浩愣了一下。这是他上任以来，第一次得到李卫东的肯定。
“爸……李总，您不怪我？”
“怪你什么？”
“发现问题太晚？差点酿成大错？”
李卫东摇摇头。
“你发现问题的时间，是凌晨两点。解决问题的方案，是凌晨四点想出来的。这个速度，比我们当年快多了。”
王浩低下头，不知道该说什么。
李卫东站起身，走到窗前。
“王浩，你知道孙浩为什么推荐你吗？”
王浩摇头。
“因为他觉得，你身上有林浩然的影子。”李卫东看著窗外的夜色，“那种不认命，不死磕到底不罢休的劲儿。”
他转过身：
“今天的事，证明他没看错。”
王浩的眼眶有些发酸。
“李总，我……”
“別说了。”李卫东走过来，拍了拍他的肩，“回去睡觉。明天还有仗要打。”
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早上八点，王浩被手机震醒。
是小周发来的消息：
【王总，时序程序改好了，正在编译。预计今晚八点能跑第一轮模擬。】
王浩盯著那行字，笑了。
他爬起来，冲了个冷水澡，换了件乾净衣服，又往指挥中心走去。
走廊里，他遇到了李维。两个人一对视，都笑了。
“李维，你那边怎么样？”
“跑了一轮模擬，压力稳定。等今晚集成测试。”
“好。晚上一起盯。”
李维点头，然后突然问：
“王浩，你说咱们能行吗？”
王浩看著他，沉默了几秒。
“不知道。但得试试。”
李维笑了。
“那就试试。”
两人走进指挥中心。
屏幕上，光刻机模擬系统正在安静地运行。
时间一分一秒地过去。
晚上八点，第一轮集成测试开始。
所有人都盯著屏幕上的数据。
第37分钟，反射率曲线平稳地划过，没有下降。
第40分钟，依然平稳。
第60分钟，还是平稳。
李维第一个跳起来：
“成功了！”
王浩靠在椅背上，闭上眼睛。
耳边是欢呼声和掌声。
但他想的，是孙浩临走前说的那句话：
【以后，你们年轻人上。】
现在，他们上了。
能不能站稳，还得看以后。
但至少，第一步迈出去了。